適用製品
測定対象物の分光特性を利用して該測定対象物の物性を定性的又は定量的に測定する技術
目的
装置を大きくすることなく、正確で且つ高波長分解能の分光特性を測定できるようにする。
効果
平行光束化部と光分割部が、それぞれに光軸が一致するように一体的に構成されているため、正確で且つ高波長分解能の分光特性を測定でき、しかも干渉光学系を小形化でき、さらには、装置全体を小形化することができる。
技術概要
a) 受光面を有し、該受光面上の光の強度分布を検出する検出器と、
b) 測定対象物の測定点から発せられた光を平行光束にする平行光束化部と、前記平行光束を第１光束と第２光束に分割し、該第１光束と該第２光束の間に光路長差を付与しつつ前記受光面に向けて出射し、前記第１光束と前記第２光束が少なくとも一部において互いに重なるように該受光面に入射させる光分割部とを有する干渉光学系と、
c) 前記第１光束と前記第２光束が重なった部分の前記受光面の光の強度分布に基づき前記測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備え、
前記平行光束化部と前記光分割部とが、それらの光軸が一致するように一体的に構成されていることを特徴とする分光測定装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
