目的
トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供する。
効果
トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供することができる。
技術概要
ミラー部と、
前記ミラー部を支持するよう設けられ、表面がＡＬＤ層で覆われたトーションバーとを有し、
前記トーションバーに捩れ力を与えることにより、前記トーションバーに沿った軸を中心として前記ミラー部を回動可能に構成されていることを
特徴とする走査ミラー。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
