透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス及びその製造方法

開放特許情報番号:L2022000635 開放特許情報登録日:2022/4/27 最新更新日:2023/5/26

基本情報
出願番号
公開番号
WO2019/039371
登録番号
出願日
2018/8/16
公開日
2019/2/28
出願人
国立大学法人東北大学
特許権者
国立大学法人東北大学
権利化状況
権利化済
発明の名称
透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス及びその製造方法
開放特許情報
技術分野
情報・通信 電気・電子
機能
機械・部品の製造
適用製品
分光デバイス及びその製造方法
目的
プラズモニクスを利用した透過型導波モード共鳴格子(透過型GMRG)一体型の分光デバイスとその製造方法を提供する。
効果
これまでの分光器より桁違いに小さな分光器ヘッド(指先に乗るほどの大きさ)が実現可能となり、スマートフォンに内蔵可能な分光器が実現できる。従来のカラーフィルタよりも多色を実現でき、1/10ほど薄型になり、より高密度にカラーフィルタを配置できる。
技術概要
半導体からなる基板に複数のダイオードが搭載されている光ディテクタアレイ上に、透明スペーサ層、導波層、所望により設ける透明バッファ層、表面プラズモンが発現する厚みを有する透過型金属格子層、及び所望により設ける透明保護膜を、この順に有することを特徴とする透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス(透過型GMRG一体型分光デバイス)。
イメージ図
実施実績   :
許諾実績 :
特許権譲渡  :
特許権実施許諾:
登録者情報
その他の情報
関連特許
(国内):
(国外):
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