目的
プラズモニクスを利用した透過型導波モード共鳴格子(透過型GMRG)一体型の分光デバイスとその製造方法を提供する。
効果
これまでの分光器より桁違いに小さな分光器ヘッド(指先に乗るほどの大きさ)が実現可能となり、スマートフォンに内蔵可能な分光器が実現できる。従来のカラーフィルタよりも多色を実現でき、1/10ほど薄型になり、より高密度にカラーフィルタを配置できる。
技術概要
半導体からなる基板に複数のダイオードが搭載されている光ディテクタアレイ上に、透明スペーサ層、導波層、所望により設ける透明バッファ層、表面プラズモンが発現する厚みを有する透過型金属格子層、及び所望により設ける透明保護膜を、この順に有することを特徴とする透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス(透過型GMRG一体型分光デバイス)。