目的
被測定物の表面で反射される光の影響を抑えつつ、被測定物の内部成分の鮮明なインターフェログラムと高精度な分光特性を取得する。
効果
被測定物のテクスチャーの違いが結像面における内部散乱光の光量分布に及ぼす影響を抑えつつ、被測定物の内部成分の鮮明なインターフェログラム及び高精度な分光特性を取得することができる。
技術概要
被測定物からの光を所定の第１軸方向に２つに分割して第１測定光及び第２測定光を形成する分割光学系と、
光路長差を付与する光路長差付与手段と、
結像面上に直線状の干渉光を形成する結像光学系と、
干渉光の強度を検出する干渉光検出部と、
被測定物に含まれる成分のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と、
分割光学系と共通の共役面を有する共役面結像光学系と、
第１軸方向に周期的に並ぶ複数の透光部と複数の遮光部とを有する振幅型回折格子と、
を備え、
複数の透光部が、透過軸の方向が第１軸方向となるように配置された第１直線偏光板と、透過軸の方向が第２軸方向となるように配置された第２直線偏光板とから
構成されており、
第１直線偏光板及び第２直線偏光板のいずれか一方が、被測定物の表面で反射された表面反射光に由来する偏光を減衰させつつ、被測定物の内部から放出された光を通過させることを特徴とする分光測定装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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