目的
広い測定レンジで被測定物から発せられる光を測定できる分光特性測定装置を提供する。
効果
Ａ／Ｄ変換器の入力レンジを超過するオーバーフローを防止しつつ、分光特性測定装置のダイナミックレンジを実現することができる。
技術概要
固定反射部と、
固定反射部の反射面と平行な反射面を有し、固定反射部の反射面に対して垂直方向に移動可能な可動反射部と、
測定物の内部の複数の測定点から発せられた測定光を固定反射部の反射面と可動反射部の反射面に入射させる入射光学系と、
固定反射部の反射面で反射された固定反射測定光と可動反射部の反射面で反射された可動反射測定光を同一点に導いて両反射測定光の干渉光を形成する結像光学系と、
干渉光の強度を検出するための複数の画素を有する光検出部と、
結像光学系と光検出部の間の光路に配置された透過率が異なる複数の領域を有するフィルタであって、複数の測定点から発せられた複数の測定光は複数の領域のうちの２つ以上の領域に分かれて透過した後、複数の画素のいずれかに入射し、各画素に入射する干渉光を形成する固定反射測定光と可動反射測定光が同じ領域を透過するように構成された減光フィルタと、
可動反射部を移動させたときの光検出部の各画素の検出信号から測定光のインターフェログラムを２つ以上の領域にそれぞれ対応する透過率で求め、このインターフェログラムに基づき測定光のスペクトルを求める演算処理部と
を備えることを特徴とする分光特性測定装置。
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登録者情報
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