目的
固定反射面と可動反射面の傾きの僅かなずれを認識して、正確で再現性の良い分光特性を取得することができる分光特性測定装置及び分光特性測定装置の調整方法を提供する。
効果
固定反射面及び可動反射面によって反射され、結像面上に集光した測定光の強度を検出する光検出部の検出結果に基づき固定反射面に対して可動反射面が相対的に傾いているか否かを判別することができる。正確で再現性の良いインターフェログラムを取得することができる。
技術概要
並んで配置された固定反射面及び可動反射面と、
測定物の測定点から発せられた測定光を固定反射面と可動反射面に導く導入光学系と、
固定反射面に導入され固定反射面によって反射された測定光と、可動反射面に導入され可動反射面によって反射された測定光をそれぞれ結像面上に集光させる結像光学系と、
結像面上に２次元配置された複数の検出画素を有する、結像面上に集光した光の強度を検出するための光検出部と、
可動反射面を移動させることにより光検出部で検出される光強度変化に基づき、測定光のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部とを備えた分光特性測定装置において、
光検出部の検出結果に基づき固定反射面に対して可動反射面が相対的に傾いているか否かを判別する判別手段と、
測定物の表面に設置される、ピンホールを有する調整部材とを備え、
導入光学系が、ピンホールを通して発せられた測定光を固定反射面と可動反射面に導くことにより、結像面上に形成される輝点像の位置に基づき、判別手段は固定反射面に対して可動反射面が相対的に傾いているか否かを判別することを特徴とする分光特性測定装置。
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