目的
広視野分光イメージングを行う場合であっても高精度に分光特性を測定することができる分光特性測定装置及びその校正方法を提供する。
効果
検出感度の低下を招くことなく高精度に被測定物の各測定点の分光特性を測定することができる。また、広視野分光イメージングに有用な分光特性測定装置を提供することができる。
技術概要
被測定物の測定点から出射された光を第１反射部と第２反射部に導く分割光学系と、
干渉像を形成する結像光学系と、
光路長差を伸縮する光路長差伸縮手段と、
第１反射部の移動量を検出する移動量検出部と、
複数の検出素子が２次元配列された光検出部と、
被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備える分光特性測定装置において、
さらに、輝点から波長が既知の校正光を出射させる校正光出射手段と、
光路長差伸縮手段によって光路長差を伸縮させることにより光検出部で検出される輝点の干渉像の光強度変化の１周期に相当する第１反射部の移動量と、輝点の干渉像の画角と、校正光の波長とに基づき、第１反射部の設置角を求める設置角算出部と、
被測定物の測定点の画角を求める画角検出部とを備え、
処理部は、第１反射部の設置角と測定点の画角とから、第１反射部の移動量に対応する光路長差を求め、光路長差に基づきスペクトルを校正することを特徴とする分光特性測定装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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