目的
必要な検出ダイナミックレンジの低減に寄与するイメージング装置及び方法を提供する。
効果
必要な検出ダイナミックレンジの低減に寄与するイメージング装置及び方法を提供することが可能である。
技術概要
入射光が照射される試料の上流側に配置され、前記入射光の一部を散乱させて散乱光を前記試料に向けて放射する散乱用構造体と、
前記試料の下流側に配置され、前記入射光に基づいて前記試料から到来する光の強度を所定の二次元平面内で検出する二次元検出器と、
前記試料からの前記二次元検出器に向かう光の内、少なくとも最大強度を持つ光の前記二次元検出器への到達を遮蔽する遮蔽体と、
前記二次元検出器の検出結果に基づき前記試料の像を生成する演算手段と、を備えた
ことを特徴とするイメージング装置。
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