目的
検知対象物の照射領域における照射光の光軸に沿った方向において異なる位置からの光学情報をより高速に取得可能な光学情報検知装置及び顕微鏡システムを提供する。
効果
光学情報検知装置の光学系や検知対象物を相対的に移動させなくても受光面上の光学情報を一括して同時に取得することができる。従って、検知対象物の照射領域内の第一の光軸上で異なる位置からの光学情報をより高速に取得できる。
技術概要
第一の光軸に沿って該第一の光軸に直交する方向に集光されている幅寸法よりも大きい長さ寸法に亘り集光されているニードル状スポット光を生成し、該ニードル状スポット光を検知対象物に照射するニードル状スポット光照射部と、
検知対象物におけるニードル状スポット光の照射領域内の第一の光軸上の互いに異なる複数の位置から発せられた出射光を、該出射光の第二の光軸に沿って移動するに従って該第二の光軸に交差する受光面における集光位置が検知対象物における第一の光軸上の出射光が出射された複数の位置に応じてそれぞれ変化するようにシフトするシフトスポット光に一括で変換するシフトスポット光変換部と、
受光面に沿ってシフトスポット光を受光するシフトスポット光受光部と、
シフトスポット光受光部によって受光されたシフトスポット光から出射光の出射位置の光学情報を取得する光学情報取得部と、
を備え、
シフトスポット光変換部は、互いに異なる複数の位置から発せられた出射光を、共通の第二の光軸に沿って変調することによりシフトスポット光に変換する出射光変調部を備えていることを特徴とする光学情報検知装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
