目的
広範な用途が期待できるナノ突起構造体及びその製造方法を提供する。
効果
屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に形成されているので、この特異な形状により、半導体、ＳＱＵＩＤ磁力計、各種センサーなどの電気的、磁気的用途、微小なコイルバネなどの機械的用途への応用が期待できる。
また、本発明のナノ突起構造体は、金属の表面にマイクロ・ナノ突起が文字や回路などの形状に選択的に形成されているので、各種のデバイス等への応用が期待できる。
技術概要
金属に低真空下で高エネルギービームが照射されることにより、高エネルギービームの照射方向に向かって成長されたナノ突起構造体であって、当該ナノ突起構造体は、高エネルギービームの照射方向が突起の成長途中に変更されることによって、屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に形成されていることを特徴とするナノ突起構造体。
基本情報
開放特許情報
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