目的
波長可変範囲が広い波長可変面発光レーザを提供する。
技術概要
第１基板と、エアギャップを介して、前記第１基板と対向するように設けられた薄板基板と、可動用ギャップを介して、前記薄板基板と対向するように設けられた第２基板と、を備える波長可変面発光レーザであって、
前記第１基板は、前記第１基板の一方の平面に形成された第１反射層と、前記第１反射層に形成された活性層と、絶縁層を介して、前記活性層に形成された第１可動電極と、を備え、
前記薄板基板は、前記活性層と対向する平面に形成された第２反射層、を備え、
前記第２基板は、前記可動用ギャップと反対側の平面に形成された第２可動電極、を備え、
前記薄板基板及び前記第２反射層は、前記エアギャップ及び前記可動用ギャップの間に位置する一部領域が、前記エアギャップ側及び前記可動用ギャップ側に可動することを特徴とする波長可変面発光レーザ。
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開放特許情報
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登録者情報
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