適用製品
空間光変調器および空間光変調器の製造方法
目的
製造工程が簡素である空間光変調器および空間光変調器の製造方法を提供する。
効果
接合のためのパターニングが不要であり、製造工程を簡素化、短縮することができる。
技術概要
第１基板と第２基板とを接合層を介して接合した空間光変調器であって、
第１基板は、矩形に形成された第１基体と、第１基体上で対向する辺に向かって形成された複数の第１電極と、隣り合う第１電極間を絶縁する第１絶縁層と、を備え、表面には第１電極によって縞状のパターンが形成されており、
第２基板は、矩形に形成された第２基体と、第２基体上に第１電極と交差する方向に形成された複数の第２電極と、第２電極上で第１電極と交差する交点に当該第２電極から突出して２次元配列された複数の光変調素子と、隣り合う第２電極間および隣り合う光変調素子間を絶縁すると共に２次元配列された各光変調素子の一部が第１基板側に突出するように形成された第２絶縁層と、を備え、表面には光変調素子によって２次元配列の凸形状パターンが形成されており、
接合層は、第１基板の表面に成膜された第１金属膜と、第２基板の表面に成膜された第２金属膜と、を備え、突出した各光変調素子の一部により当該第１金属膜と当該第２金属膜との接合部が形成されると共に、接合部以外の当該接合層の表面部分が酸化膜として形成されることを特徴とする空間光変調器。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
