適用製品
電子素子、温度センサー、磁気センサー、振動センサーおよび加速度センサー
目的
高い品質因子を有していて精度の高い検知を行うことができ、それを比較的低電力で電気信号に変えることができる小型軽量の多用途型のトランスデューサである電子素子を提供する。
また、極めて広い温度領域で使用でき、精度の高い検知を行うことができる小型軽量の温度センサー、磁気センサー、振動センサーおよび加速度センサーを提供する。
効果
小型軽量で極めて高い品質因子を有し、高温化でも性能低下が少なくて適用温度範囲が広く、検知精度の高い、温度センサー、磁気センサー、振動センサー、加速度センサーなどに適用可能な電子素子（トランスデューサ）を提供することが可能になる。
技術概要
ソース電極、ドレイン電極、ゲート電極および圧抵抗電極を有する電子素子であって、
前記圧抵抗電極は、前記ソース電極および前記ドレイン電極と電気的に接続され、かつ剛性を有する基板上に支持部を介して形成された単結晶ダイヤモンドからなる梁上に形成された圧抵抗効果をもつ材料からなる、電子素子。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
