目的
白色のスペクトルをもつ照明光を用い、十分な空間分解能と高い利便性をもつ分光分析装置を得る。
効果
白色のスペクトルをもつ照明光を用い、十分な空間分解能と高い利便性をもつ分光分析装置を得ることができる。
技術概要
一定の波長領域で広がりを有する波長スペクトルをもつ白色光が照明光として用いられ、前記照明光を試料の表面の一領域に照射させる入射光学系と、前記照明光に起因して前記試料から出射した出射光の波長スペクトルを検出する検出部と、前記出射光を前記検出部に導く出射光学系と、を具備する分光分析装置であって、
前記入射光学系は、前記照明光を集束させる入射側第１ミラーを具備し、前記入射光を前記表面に対して９０°よりも小さな入射角度で入射させ、
前記出射光学系は、前記照明光と前記出射光とが含まれる入射面内で、前記一領域を通る前記表面の法線に対して前記入射側第１ミラーと反対側に配置され、前記出射光を集束させる出射側第１ミラーを具備することを特徴とする分光分析装置。
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