適用製品
プラズモン特性を有する六ホウ化ランタン膜及びその製造方法
目的
これまで報告されている貴金属や金属窒化物、導電性金属酸化物などよりも、さらに安定性の高く、損失の少ない良好なプラズモン特性を有する、高品質な金属六ホウ化物の膜を簡便に提供する。
効果
近赤外域以上の波長において、Ｗ、Ｍｏ、ＴｉＮよりも良好なプラズモン特性を有する上に、１０００℃以上の高温でも使用できる良質なＬａＢ６膜が与えられる。
技術概要
２回対称または４回対称の結晶対称性をもつ基板上に成長させた六ホウ化ランタン膜であって、連続し、無孔であって、膜の５２％以上が（００１）表面を持ち、表面粗さ（ｒ．ｍ．ｓ．）の値が膜厚の１０％以下である、プラズモン特性を有する六ホウ化ランタン膜。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
