目的
被検査体の凹凸を精度よく検出可能な表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とする。
効果
被検査体の凹凸を精度よく検出することが可能となる。
技術概要
カメラで撮像した画像データに基づいて被検査体の測定領域内の測定点Ｔの面法線ベクトルを算出し、面法線ベクトルを内積する位置を示す算定点ＩＰおよび当該算定点ＩＰに対応する基準点Ｍ１を定めた指標値設定フィルタＦＲの算定点を測定領域Ｌ内の測定点Ｔに合わせて、算定点ＩＰに一致する測定点Ｔの面法線ベクトルを内積することで基準点Ｍ１に対応する指標値を算出する。このとき、指標値を算出する毎に、指標値設定フィルタＦＲの算定点ＩＰを合わせる測定点Ｔを変更して変更毎の基準点Ｍ１に対応する指標値を算出することで、当該測定領域Ｌの各座標に対応する指標値を特定し、測定領域Ｌにおいて基準範囲から外れた指標値に対応する座標を特定することで被検出体の凹凸位置を検出する。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
