適用製品
メタン除去装置、高純度窒素供給システム、ガスクロマトグラフ分析システム及び触媒機能再生方法
目的
高純度窒素ガスを生成する際に、適切なメタン除去を継続的に行う運用が可能となる技術を提供する。
効果
高純度窒素ガスを生成する際に、適切なメタン除去を継続的に行う運用が可能となる技術を実現できる。
技術概要
酸素を分離した窒素ガスを通気し前記窒素ガスに残留するメタンガスを燃焼させて除去する酸化金属を担体とする触媒と、
前記触媒に酸素を通気することで前記触媒の機能を再生させる触媒機能回復手段と、
を備えたメタン除去装置。