適用製品
光電変換膜およびその製造方法、光電変換膜を備える光電変換素子、固体撮像素子
目的
可視光全域で十分な感度が得られ、かつ導電膜に局所的な電界集中が発生しにくい光電変換素子、上記の光電変換素子を備える固体撮像素子を提供する。
効果
可視光全域で十分な感度が得られ、しかも、光電変換膜の上に形成される導電膜における局所的な電界集中の発生を防止できる。
高感度で高画質の画像が得られる。
技術概要
接合膜と、前記接合膜上に形成された結晶セレン膜と、前記結晶セレン膜上に形成され、モリブデン単体からなる金属膜とを有し、
前記接合膜は、前記接合膜の下層と前記結晶セレン膜との接着力を向上させる機能を有し、前記結晶セレン膜は、厚みが０．１〜５μｍであり、表面の平均面粗さが５ｎｍ以下であり、前記金属膜の膜厚が２０ｎｍ以下であり、前記金属膜側から前記結晶セレン膜に光を入射する光電変換膜を備えることを特徴とする光電変換素子。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
