目的
ダイヤモンド砥粒、または、ＣＢＮ砥粒を有する電着砥石を、短時間かつ高精度にツルーイングすることが可能なツルーイング方法及びツルーイング装置を提供する。
効果
励起窒素を効率良く生成することで、ダイヤモンド砥粒またはＣＢＮ砥粒を有する電着砥石を、短時間かつ高精度にツルーイングすることが可能なものとなっている。
技術概要
ダイヤモンドまたはＣＢＮで構成された多数の砥粒を有する電着砥石に対して、前記電着砥石表面から突出した複数の前記砥粒の切れ刃高さを均一化するツルーイング方法であって、
金属酸化物で構成された加工部材を前記砥粒の切れ刃先端と接触させ、接触部位に窒素ガスを供給すると共に、前記加工部材を前記砥粒の切れ刃先端に接触させた状態で変位させる工程を備える
ツルーイング方法。
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開放特許情報
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