目的
干渉信号の密度が一定であり、被測定物の表面における凹凸の解釈上の問題がないだけでなく、参照面を必要としない簡易で迅速な観測が可能な微分干渉計を提供する。
効果
干渉信号の密度が一定であり、被測定物の表面における凹凸の解釈上の問題が生じないだけでなく、参照面を必要としない簡易で迅速な観測が可能になるという優れた効果を奏する。
技術概要
円錐状に一端側を突出した突出端とする凸型アキシコンレンズと、
前記突出端の形状と合致する円錐状に一端側を窪ました凹端とすると共に、前記突出端に対して該凹端を対向して配置した凹型アキシコンレンズと、
光束を被測定物に照射して該被測定物で反射させた反射光をこれら一対のアキシコンレンズに入射する光源と、
を含む微分干渉計であって、
これら一対のアキシコンレンズの屈折率が相互に同一であり、突出端と凹端との間の隙間が全体にわたって一定の大きさとされたことを特徴とする微分干渉計。
基本情報
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