適用製品
微小金属粒子が誘電体層に分散したセラミックキャパシタの製造方法
目的
高温での熱処理を必要とし使用できる金属の種類が制限されることや、還元ガスをフローさせる必要があることなどの課題を解決する。
効果
微小金属粒子が誘電体層に高濃度で分散した構造を持つセラミックキャパシタを低温で作製することができ、高温での熱処理を必要としないので使用できる金属に制限が少なく、また還元ガスを用いる必要がないため製造装置を簡単な構造にすることができコストの低減が図れる。
技術概要
金属を含む微小粒子と第1の誘電体の前駆体とを混合する、又は金属を含む微小粒子と第1の誘電体の前駆体と第2の誘電体とを混合するステップと、
前記混合した混合物をペレット状に成型するステップと、
前記成型したペレットを水熱処理又はソルボサーマル処理を行い、前記第1の誘電体の前駆体を第1の誘電体に変化させるステップと、
を備えたことを特徴とする微小金属粒子含有セラミックキャパシタの製造方法。