適用製品
赤外線集中加熱浮遊帯域溶融法で単結晶を製造するときの、原料棒の配置方法
目的
赤外線集中加熱浮遊帯域溶融法で単結晶を製造するときに溶融帯を安定化させるための原料棒の適切な配置方法を提供する。
効果
鉛直方向に吊り下げられた複数の原料棒を、該原料棒間に間隙をもって配置可能な保持機構を備えており、間隙を維持したまま溶融帯を生成することができるため、溶融帯を安定化することができる。
技術概要
単結晶を育成する赤外線集中加熱浮遊帯域溶融法において
鉛直方向に吊り下げられた複数の原料棒を、前記原料棒間に２ｍｍよりも大きな間隙をもって配置し、
前記間隙を維持したまま前記間隙を通して赤外線による加熱光を直接浸透させて溶融帯を生成する浮遊帯域溶融法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
