目的
低気圧の容量結合型プラズマ処理装置等において所望のパルス幅にわたって安定な放電プラズマの生成を高周波数で繰り返すためのパルス電圧を供給する場合に、比較的簡易な回路により、容量性負荷回路の容量に蓄えられる電荷と静電エネルギーをパルス毎に回生することができ、電力の利用効率を向上させることができる電力回生型パルス電源を提供する。
効果
容量結合型プラズマ処理装置等の容量性負荷回路に高周波パルス電圧を供給する場合に、所望のパルス幅（放電時間）にわたって安定な放電プラズマを持続できるとともに容量性負荷回路の容量に蓄えられる電荷と静電エネルギーをパルス毎に回生することができ、電力の利用効率を向上させることができる。
技術概要
電源と、
充放電回路と、
電流（電圧）調節回路と
を備えた電力回生型パルス電源であって、
前記充放電回路は、第１半導体スイッチと、コンデンサと、リアクトルと、第２半導体スイッチとを備え、
前記コンデンサは、一方の電極が前記第１半導体スイッチと前記リアクトルの間に接続され、他方の電極が接地されており、
前記コンデンサは前記第１半導体スイッチを介して前記電源に接続され、
前記コンデンサは前記第２半導体スイッチと前記リアクトルを介して容量性負荷回路に接続され、
前記電流（電圧）調節回路は、前記電源と前記容量性負荷回路の間に、前記充放電回路と並列に設けられ、第３半導体スイッチを介して前記容量性負荷回路に接続されることを特徴とする、電力回生型パルス電源。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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