適用製品
メソポア多孔質体ガスセンサ,ガスセンサ用基板およびガスセンサシステム
目的
感知時間,測定に要する時間を短縮することができ,製造の簡便化及び低コスト化を図ることができるメソポア多孔質体ガスセンサ,それを搭載するための基板及びそれを組み込んだガスセンサシステムを提供する。
効果
メソポア多孔質体感知体からなるガス検知部を搭載した際に,その感知時間,測定に要する時間を短縮することができ,その感知体の搭載方法の容易さから製造の簡便化及び低コスト化を図ることができるメソポア多孔質体ガスセンサ用基板を提供できる。また,このメソポア多孔質体ガスセンサを組込み,メソポア多孔質体ガスセンサ用基板の蓋を備えたガスセンサシステムを提供できる。
技術概要
凹部にマクロポアサイズの貫通細孔を複数有するメソポア多孔質体ガスセンサ用基板,この基板を用いるメソポア多孔質体ガスセンサ,及びこのガスセンサを有するメソポア多孔質体ガスセンサシステム。