適用製品
吸着面に載置した対象物を吸引して固定する真空チャック及び真空チャック用オートバルブ
目的
固定した対象物を変形させることなく、且つ、設置姿勢にかかわらず対象物の安定した固定を行うことができる真空チャック及び真空チャック用オートバルブを提供する。
効果
固定した対象物を変形させることなく、且つ、向きにかかわらず対象物の安定した固定を行うことができる真空チャック及び真空チャック用オートバルブを提供することができる。
技術概要
対象物を吸着する吸着面を有する吸着ベースと、
前記吸着ベースの内部に設けられたシリンダと、
前記シリンダの円筒空間を円筒軸方向で第一の空間と第二の空間とに仕切り、前記円筒空間内を円筒軸に沿って摺動可能なピストンと、
真空圧発生装置に連通する第三の空間と、
前記吸着面における開口から前記第一の空間まで前記吸着ベースを貫通する第一の貫通孔と、
前記第一の空間と前記第二の空間との間を貫通し、前記第一の空間と前記第二の空間との気圧差を維持可能な第二の貫通孔と、
前記第二の空間と前記第三の空間との間を貫通する第三の貫通孔と、
前記ピストンに設けられ、前記第一の空間と前記第二の空間との気圧差によって前記ピストンが摺動することで前記第三の貫通孔を閉じる弁体と、
前記第三の貫通孔を開く方向に前記弁体を付勢する付勢部材と、
前記第一の貫通孔に連通し、前記吸着面に沿って延びる開口を有する溝部と、
を備えたことを特徴とする真空チャック用オートバルブ。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
