目的
電極への衝突を回避しつつ荷電粒子ビームを適切に操作可能な荷電粒子ビーム操作装置を提供する。
効果
荷電粒子ビームが電極に衝突することを回避できる。その結果、電極の発熱のみならず、荷電粒子ビームの分離効率或いは結合効率の低下、電極の損傷及び高放射化など、荷電粒子ビームが電極に衝突することに起因する様々な課題を一挙に解決することができる。
技術概要
荷電粒子ビームを分離或いは結合する荷電粒子ビーム操作装置であって、
荷電粒子ビームの進行方向に直交する第１方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、前記進行方向及び前記第１方向に直交する第２方向に延設された一対の第１電極と、
前記第２方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、各々が前記一対の第１電極それぞれと電気的に接続された一対の第２電極とを備え、
前記一対の第１電極と、前記一対の第２電極との間に電位差が付与されることを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
