適用製品
真空プリロード機能を備えるエアベアリング
目的
簡便な構成で真空プリロード機能を備えるエアベアリングを提供する。
効果
簡便な構成で真空プリロード機能を備えた高剛性エアベアリングを提供できるという効果を奏する。
技術概要
案内面に対向する軸受面を有する本体部と、
前記本体部内に設けられ、外部から供給される圧縮空気が分岐部で分岐されて流される第1流路部及び第2流路部と、
前記第1流路部に設けられ、圧縮空気を前記案内面へ給気して前記軸受面と前記案内面との間に空気膜を形成する給気孔と、
前記第2流路部に着脱可能に装着され、内部の空洞部を圧縮空気が流れる着脱部材と、
前記着脱部材の前記空洞部に設けられ、圧縮空気の流速を大きくして、前記案内面と前記本体部の間の空気を吸引する負圧を発生させる負圧発生部と、
を備え、
前記第1流路部は、前記分岐部から互いに対称な方向に分岐するように2つ設けられている、エアベアリング。