ガス流通管の取付具及び気相成長装置

開放特許情報番号：L2020002074 開放特許情報登録日：2020/12/28 最新更新日：2020/12/28

基本情報

出願番号

公開番号

登録番号

出願日

2014/6/16

公開日

2016/1/12

出願人

古河機械金属株式会社

特許権者

古河機械金属株式会社

権利化状況

権利化済

発明の名称

ガス流通管の取付具及び気相成長装置

開放特許情報

技術分野

電気・電子金属材料

機能

材料・素材の製造

適用製品

ガス流通管の取付具及び気相成長装置

目的

気相成長装置のガス導入管等のガス流通管を好適に保護することが可能な、ガス流通管の取付具、及び、気相成長装置を提供する。

効果

気相成長装置のガス導入管等のガス流通管を好適に保護することが可能となる。

技術概要

反応炉内に保持された基板上に半導体結晶膜を成長させる気相成長装置の前記反応炉の内部と外部との間でガスを流通させるガラス管を、前記反応炉の外壁に取り付けるための取付具。

イメージ図

実施実績　　　：

無

許諾実績　：

無

特許権譲渡　　：

可

特許権実施許諾：

可

登録者情報

登録者名称

その他の情報