適用製品
ＩＩＩ族窒化物半導体層の製造方法及びＩＩＩ族窒化物半導体基板
目的
従来にない製造方法で、結晶欠陥の少ないIII族窒化物半導体層を製造する。
効果
従来にない製造方法で、結晶欠陥の少ないIII族窒化物半導体層を製造することができる。
技術概要
下地基板に、前記下地基板の第１の面から前記下地基板の厚さ方向に伸び、かつ、前記下地基板に形成された転位と繋がる縦長ピットを複数形成するピット形成工程と、
前記ピット形成工程の後、前記下地基板の前記第１の面の上に、前記縦長ピットの少なくとも一部分を空洞として残して、III族窒化物半導体を成長させる成長工程と、
を有し、
前記縦長ピットの開口の直径Ｄｉが、１００ｎｍ≦Ｄｉ≦１０００ｎｍを満たし、
前記ピット形成工程では、前記転位が存在する位置に選択的に前記縦長ピットを形成するIII族窒化物半導体層の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
