目的
気相成長中に抵抗発熱体が断線した場合において、サセプタ及び基板の温度条件への影響を抑制することが可能な気相成長装置および気相成長用加熱装置を提供する。
効果
気相成長中に抵抗発熱体（第１抵抗発熱体又は第２抵抗発熱体）が断線した場合においても、サセプタ及び基板の温度条件への影響を抑制することができる。
技術概要
基板の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように前記基板を支持する盤状のサセプタと、
前記サセプタを加熱する加熱部と、
を備え、
前記加熱部は、
互いに電気的に並列に接続された第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体と、
第１抵抗発熱体の両端間及び第２抵抗発熱体の両端間に電流を印加する電力供給部と、
前記第１抵抗発熱体と前記第２抵抗発熱体とは別体に設けられており、前記第１抵抗発熱体の両端間の間に位置する第１結節点と、前記第２抵抗発熱体の両端間の間に位置する第２結節点と、を相互に電気的に接続する接続導体と、
を有し、
前記第１結節点及び前記第２結節点はそれぞれ複数設けられており、かつ前記接続導体も複数設けられており、
前記複数の接続導体は、互いに異なる前記第１結節点と前記第２結節点とを相互に電気的に接続している気相成長装置。
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