適用製品
ＩＩＩ族窒化物半導体基板、及び、ＩＩＩ族窒化物半導体基板の製造方法
目的
所望の半極性面を成長面としてIII族窒化物半導体をエピタキシャル成長させる新たな技術を提供する。
効果
所望の半極性面を成長面としてIII族窒化物半導体をエピタキシャル成長させる新たな技術が実現される。
技術概要
｛１０−１０｝面、又は、｛１０−１０｝面を所定の方向に所定角度傾斜した面を主面として有するサファイア基板を準備するサファイア基板準備工程と、
窒化処理を行いながら、又は、前記窒化処理を行わずに、前記サファイア基板に対して熱処理を行う熱処理工程と、
前記熱処理後の前記サファイア基板の前記主面の上に、バッファ層を形成するバッファ層形成工程と、
前記バッファ層の上に、成長面が所定の面方位となっているIII族窒化物半導体層を形成する成長工程と、
を有し、
前記サファイア基板準備工程では、｛１０−１０｝面をａ面と平行になる方向に４．５°以上５．５°以下、９．５°以上１０．５°以下、１４．５°以上１５．５°以下、及び、１９．５°以上２０．５°以下の中のいずれかの角度で傾斜した面を前記主面として有する前記サファイア基板を準備し、
前記バッファ層形成工程では、成長温度を１０６０℃以上１１２０℃以下とするIII族窒化物半導体基板の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
