適用製品
ＩＩＩ族窒化物半導体基板、ＩＩＩ族窒化物半導体基板の製造方法、及び、半導体デバイスの製造方法
目的
III族窒化物半導体の湾曲に起因して生じうる結晶歪みを解決する手段を提供する。
効果
III族窒化物半導体の湾曲に起因して生じうる結晶歪みを解決することが可能となる。
技術概要
第１のIII族窒化物半導体層の第２の主面上に位置する第２のIII族窒化物半導体層と、
を有し、
以下の算出方法を用い第１の主面の外周上の２点の複数の組み合わせ各々に対応して算出される曲率１／Ｒ↓１（ｍ↑（−１））はいずれも、−０．１ｍ↑（−１）≦１／Ｒ↓１≦０．１ｍ↑（−１）を満たすIII族窒化物半導体基板。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
