適用製品
中空マイクロチューブ構造体およびその作製方法ならびに生体検査装置
目的
低侵襲の電極として使用できる中空マイクロチューブ構造体およびその製造方法、中空マイクロチューブ構造体を使用した生体検査装置を提供する。
効果
半導体基板上に中空チューブを有する中空マイクロチューブ構造体を効率よく作製することができる。
非常に微小な局所領域における電気的、化学的または光学的な刺激に対する反応を計測し、当該測定結果によって生体の検査を実現することが可能となる。
技術概要
半導体基板と、
該半導体基板の表面に対して直交方向に直線状に中空部を形成してなり、かつ、マイクロスケールの筒状に該表面上に設けられた少なくとも１つの中空チューブと、
該中空チューブの内部表面を構成する金属被膜層と、
前記中空チューブの外部表面を構成する絶縁被膜層と、
前記中空チューブの中空部の延長上に連通しつつ前記半導体基板の裏面で開口する貫通孔と、
を備えたことを特徴とする中空マイクロチューブ構造体。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
