適用製品
化学・物理現象検出装置及び検出方法の改良
効果
シリコン基板上に各種電極や感応膜を形成した構成であるので、二次元的に集積することが可能となる。
技術概要
測定対象の化学・物理現象に対応してポテンシャル井戸の底部ポテンシャルを変化させるセンシング部を備え、
ＴＧ部を介して前記センシング部の電荷を対応するＦＤ部へ移送し、該ＦＤ部に蓄積された電荷に基づき前記化学・物理現象を特定し、前記ＦＤ部の電荷をＲＤ部より排出する化学・物理現象検出装置の制御方法であって、
前記ポテンシャル井戸へ、前記ＴＧ部を介して、前記ＦＤ部側から電荷を注入する際に、前記ＲＤ部へチャージされた電荷の最低ポテンシャルを、前記ＴＧの電位より低くかつ前記ポテンシャル井戸が取りうる最低ポテンシャルより低くして、かつ前記ＴＧ部の電位を変化させずに、前記ＲＤ部からの電荷で前記ポテンシャル井戸を満たす化学・物理現象検出装置の制御方法。
基本情報
開放特許情報
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