適用製品
化学・物理現象検出装置及び検出方法の改良
目的
高集積化に適した化学・物理現象検出装置及びその制御方法を提供する。
効果
データ処理にかかる負担増が小さく、検出装置の集積数が増大してもリアルタイムでのデータ処理が実質的に可能となる。
技術概要
測定対象の化学・物理現象に対応してポテンシャル井戸の底部電位を変化させるセンシング部と、該センシング部へ電荷を供給するＩＤ部と、該ＩＤ部から前記センシング部へ供給する電荷量を調節するＩＣＧ部と、前記センシング部の電荷がＴＧ部を介して蓄積されるＦＤ部とを備えてなる化学・物理現象検出装置の複数を集積してなり、各検出装置に対して一定電位の参照電極が配置されてなる集積装置において、前記各検出装置の出力を校正する校正方法であって、
標準状態の化学・物理現象に対応する前記各検出装置の出力を検出する検出ステップと、
前記各検出装置の出力と前記標準状態の化学・物理現象に対応する標準検出装置の標準出力とを比較する比較ステップと、
前記比較ステップの比較結果に基づき、前記各検出装置の出力が前記標準出力と一致するように、前記各検出装置のセンシング部のポテンシャル井戸の容量を変化させる、及び／又は前記センシング部から前記ＦＤ部へ電荷を移送する際に前記ＴＧ部の電位を変化させる制御ステップと、
を備える校正方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
