適用製品
累積型化学・物理現象検出装置及びその制御方法の改良
効果
簡単な演算を実行することにより実測により得ることのできない検量線が得られる。
技術概要
化学/物理現象に対応してポテンシャルが変化するセンシング部と、
前記センシング部へ電荷を供給する電荷供給部と、
前記センシング部と前記電荷供給部との間に存在する電荷注入調節部と、
前記センシング部から移送された電荷を蓄積するフローティングディフュージョン部と、を備え、
前記電荷供給部の電位を下げて前記センシング部へ電荷を供給する状態から前記電荷供給部の電位を上げることによって前記センシング部の電荷がすり切られる累積型化学・物理現象検出装置であって、
前記センシング部に連続する除去井戸が形成され、
前記電荷注入調節部に対応する電荷制御電極と前記除去井戸に対応する除去電極とが設けられて、
前記電荷供給部の電位をさげて前記センシング部に前記電荷をチャージするときの前記除去電極の電位から前記電荷制御電極の電位を差し引いた値に比べ、前記電荷供給部の電位を上げて前記センシング部の電荷を前記電荷供給部側にすり切った後における前記除去電極の電位から前記電荷制御電極の電位を差し引いた値を大きくする、累積型化学・物理現象検出装置。