目的
可動膜上における反応時間を短縮し得る物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスを提供するとともに、そのための製造方法をも提供する。
効果
マイクロ流路を経由して微細な空間に検体を供給することから、いわゆるサイズ効果により可動膜表面における吸着速度を促進させ、反応時間を大きく短縮することができるのである。
技術概要
受光素子の受光面に、空隙部を形成しつつ該受光面に対向して設けられた可動膜を備え、該可動膜は、少なくとも外側表面に物質固定能を有し、前記受光面とともにファブリペロー干渉計を形成するように構成された物理・化学センサにおいて、
前記可動膜の外側表面に積層される流路形成層を備え、該流路形成層は、前記可動膜の外側表面に中空部を形成するとともに、該中空部に接続される流路が形成されており、
前記可動膜は、周辺部分の一部に貫設された貫通部を備え、前記流路形成層は、前記中空部および流路から逸れた位置において前記貫通部に連通するように該流路形成層を貫通する連通部を備えており、前記受光面と前記可動膜との間に形成される空隙部は、前記貫通部および連通部を介して外部に連通していることを特徴とする物理・化学センサ。
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