目的
、電位障壁を消去しつつ高集積化に適した化学・物理現象検出装置を提供する。
効果
電荷供給制御領域とセンシング領域との間に電位障壁が形成されなくなる。
除去井戸の電位を制御するための電極およびその配線が不要となるので、高集積化の要請に適したものとなる。
技術概要
外部環境の変化に対応して電位が変化するセンシング領域と、
該センシング領域へ電荷を供給する電荷供給領域と、
前記センシング領域と前記電荷供給領域との間に介在する電荷供給調節領域と、
前記センシング領域から移送された電荷を蓄積する電荷蓄積領域と、を区画した半導体基板を備え、
前記電荷蓄積領域に蓄積された電荷の量を検出する化学・物理現象検出装置であって、
前記基板において前記電荷供給調節領域とセンシング領域との間に拡散層が介在され、該拡散層には前記電荷供給領域から供給される電荷の極性と同じ極性の電荷を生じさせるドーパントが拡散されている、化学・物理現象検出装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
