目的
前処理による可動膜の変形を復元方向に誘導し、検知すべき分子の吸着による可動膜の変形状態を好適に検出することができる物理・化学センサを提供するとともに、これを使用するセンサアレイおよびセンシングデバイスを提供する。
効果
可動膜の変形し得る範囲が確保され、検知すべき分子の吸着による可動膜の変形状態を中心とする検出が可能となる。
技術概要
受光素子の受光面に、空隙部を形成しつつ該受光面に対向して設けられた可動膜を備え、該可動膜は、少なくとも外側表面に分子固定能を有し、前記受光面とともにファブリペロー干渉計を形成するように構成された物理・化学センサにおいて、
前記可動膜の表面もしくは裏面または中間層に導電性を有する材料によって形成される第１の導電膜と、前記受光面の表面に絶縁層を介して導電性を有する材料によって形成される第２の導電膜とを備え、前記第１および第２の導電膜は適宜電圧の印加を受ける電源に接続されていることを特徴とする物理・化学センサ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
