適用製品
電子線マイクロアナライザを用いた元素分析方法、元素分析装置
目的
測定対象元素の特性Ｘ線に対応するピークと干渉元素の特性Ｘ線に対応するピークとが干渉する場合に、測定対象元素の組成を高精度で算出する。
効果
ＥＰＭＡで得られるＸ線スペクトルにおいて測定対象元素の特性Ｘ線に対応するピークと干渉元素の特性Ｘ線に対応するピークとが干渉する場合に、測定対象元素の組成を高精度で算出することができる。
技術概要
電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）で電子線が照射された際に得られるＸ線スペクトル中において、測定対象元素が発する特性Ｘ線のピークである測定対象ピークと干渉する特性Ｘ線を発する干渉元素が存在する下で、試料における測定点での前記測定対象元素の組成を前記測定対象ピークの強度の測定によって算出する元素分析方法であって、
前記測定点において、前記干渉元素が発する特性Ｘ線のうち、前記測定対象ピークと干渉しない特性Ｘ線に対応した波長である参照用波長のＸ線強度である補正用強度を測定する補正用強度測定工程と、
前記測定点において、前記測定対象ピークに対応する波長のＸ線強度である実測強度を測定する測定対象元素測定工程と、
前記補正用強度に補正係数を乗じた値を前記実測強度から減算した補正後強度より前記測定対象元素の組成を認識する補正工程と、
を具備することを特徴とする元素分析方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
