適用製品
高エネルギーイオンビーム（粒子線）を発生させる粒子線発生装置、イオンビームを生成するイオン源装置、およびイオンビーム生成方法
目的
複数のイオン種を短時間で切り換えて生成することのできるイオン源装置、粒子線発生装置、およびイオンビーム生成方法を提供する。
効果
複数のイオン種を短時間で切り換えて生成することのできるイオン源装置、粒子線発生装置、およびイオンビーム生成方法を提供できる。
技術概要
真空中に導入したガスからイオンビームを生成するイオン源装置であって、
内部が真空のチャンバーと、
前記チャンバー内にガスを供給するガス供給部と
前記ガスの原子をイオン化するための電離エネルギーを前記チャンバー内に供給する電離エネルギー供給部と
を備え、
前記ガス供給部は、異なる種類のガスが充填された複数のガスボンベと、前記ガスボンベに接続され前記チャンバーへガスを通すガス通路と、前記ガス通路に取り付けられパルス的に短時間だけ開状態にできるパルス制御用ガスバルブを有する
イオン源装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
