適用製品
高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光することができる原子発光検出器用マイクロプラズマ装置
目的
プラズマ発生室内において高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光して被測定物質の検出感度に優れた原子発光検出器用マイクロプラズマ装置を提供する。
効果
プラズマ発生室内において高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光して被測定物質の検出感度に優れた原子発光検出器用マイクロプラズマ装置を提供することを可能とする。
技術概要
金属板からなる一対の対向電極の間および両外側面に誘電体からなる誘電板をそれぞれ配置した積層体において、積層方向に貫通して形成された貫通孔からなるプラズマ発生室と、
前記プラズマ発生室の一方の開口部から前記プラズマ発生室に対してプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、
前記積層体の前記プラズマ発生室の他方の開口部が開口している外側面と所定の間隙を形成した状態で設けられた透明板と、
前記透明板を隔てて前記プラズマ発生室の前記積層体の積層方向における中心軸と同軸に設けられた光ファイバーとを備え、
前記プラズマ生成用ガス導入部から前記プラズマ発生室の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、前記一対の対向電極に対して電圧を印加することにより、前記プラズマ発生室内に発生したマイクロプラズマの発光を前記光ファイバを通して検出するように形成されていることを特徴とする原子発光検出器用マイクロプラズマ装置。
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