目的
質感計測を単一のＭＥＭＳセンサで行う技術を提供する。
技術概要
質感計測用のＭＥＭＳセンサであって、
透光性弾性部材と、
前記透光性弾性部材に埋め込まれた少なくとも１つの検知素子と、
物体を照射する光源と、
を有し、
前記検知素子は、
半導体層上に絶縁層を介して設けられた２つの端子と、
前記半導体層に端部が接続され、前記透光性弾性部材に対する前記物体の接触に応じて変形するカンチレバーと、
前記カンチレバー上に設けられ、前記２つの端子に各端部が接続されたひずみゲージと、を備え、前記２つの端子間の直流抵抗の変化に基づき接触力を検知し、前記２つの端子間の交流インピーダンス変化に基づき、前記物体からの反射スペクトルと前記物体の温度との少なくとも一方を検知する、ＭＥＭＳセンサ。
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