適用製品
Ｘ線等の高エネルギー線、及び近赤外光等の長波長光を用いた医療分光分析・画像機器、タイムオブフライト（ＴＯＦ）法を用いた車載等における距離計測装置。
目的
シリコン基板を用いた光電変換素子における高感度化、低ノイズ化、高速読み出し、低消費電力化、高解像度化、分光感度の長波長化、及び外乱光の影響やクロストークを低減する。これを用いた光学測定装置、例えば、ＴＯＦ法による小型かつ高精度の距離計測装置を実現する。
効果
近赤外光に対する感度の向上、ラインセンサと同等の高速読み出しの実現、隣接する画素間におけるクロストークを解消し、太陽や人工的照明光等の外乱光や背景光等の影響を抑制したので、測距誤差の極めて少ない高精度距離計測装置等が実現する。
技術概要
シリコン基板の側端部を受光面とする複数の光電変換領域を有し、さらに画素間及び画素部と画素信号走査読み出し回路部との間の素子分離領域の下部がシリコン基板の集積回路が形成された面とは反対側の裏面側まで延在して形成され、かつ素子分離領域の内部であって素子分離領域の上部から下部に向かって金属反射膜が埋め込まれ、金属反射膜の端部が裏面側に形成された金属反射膜及び集積回路が形成された上面部上に形成された金属反射膜に接触している光電変換素子の構造。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
