目的
複数の位置を簡易且つ高精度に測定できる干渉計を提供する。
効果
複数の位置を簡易且つ高精度に測定可能になる。ボールレンズと液晶フィルターにより構成される反射鏡を拡散光の中に置くだけで良いので、光学の知織がなくても簡単に干渉計を構成できる結果として、測定の用途も広がることになる。
技術概要
拡散光を発生させる光源と、
光源からの拡散光を入射した光軸に沿ってそれぞれ反射する複数のボールレンズと、
光源と複数のボールレンズとの間に配置されて個々のボールレンズに対する拡散光の入射を遮断可能とする液晶フィルターと、
個々のボールレンズに対応する液晶フィルターの各部分における光の遮断を制御する制御手段と、
ボールレンズで反射された反射光を受光すると共に、光源に源を有する光の一部を参照光として受光する受光素子と、
を含む干渉計。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
