目的
より均一な量子ドット特性を奏するシリコンナノ粒子を得ることのできる、化学エッチング法によるシリコンナノ粒子の製造方法を提供する。
効果
より均一な量子ドット特性を奏するシリコンナノ粒子を得ることのできる、化学エッチング法によるシリコンナノ粒子の製造方法が提供される。
技術概要
化学エッチング法によりシリコン粉末からシリコンナノ粒子を製造するシリコンナノ粒子の製造方法であって、
分散されたシリコン粉末を含む水系溶媒にフッ化水素酸を添加して反応混合物を調製する第一投入工程と、
前記第一投入工程を経た前記反応混合物に、シリコン粒子の表面を酸化させる作用を備えた酸化剤を添加する第二投入工程と、
前記第二投入工程を経た前記反応混合物に対して、前記反応混合物を混合させるための外力を加えながら前記フッ化水素酸と前記酸化剤との作用により前記シリコン粉末に含まれるシリコン粒子を細径化させるエッチング工程と、を備えることを特徴とするシリコンナノ粒子の製造方法。
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