適用製品
エミッタ、それを用いた電子銃、それを用いた電子機器、および、その製造方法
目的
電子を高効率に安定して放出するエミッタ、それを用いた電子銃、それを用いた電子機器、および、その製造方法を提供する。
技術概要
ナノワイヤを備えたエミッタの製造方法であって、
前記ナノワイヤは、炭化ハフニウム（ＨｆＣ）単結晶からなり、
少なくとも前記炭化ハフニウム単結晶の電子を放出すべき端部は、酸化ハフニウム（ＨｆＯ↓２）で被覆されており、
前記ナノワイヤの短手方向の長さは１０ｎｍ以上６０ｎｍ以下であり、
前記ナノワイヤの長手方向の長さは５μｍ以上３０μｍ以下であり、
前記酸化ハフニウムの厚さは、１ｎｍ以上５ｎｍ以下であり、
前記電子を放出すべき端部の形状は、電界蒸発処理により半球状であり、
前記炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤを、酸素を含有する雰囲気中で加熱するステップを包含し、
前記加熱するステップにおいて、酸素分圧は５×１０↑（−９）Ｐａ以上５×１０↑（−８）Ｐａ以下の範囲であり、加熱温度は５００℃以上７００℃以下の範囲であり、加熱時間は３分以上７分以下の範囲である、方法。
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