適用製品
ホウ素(B)添加酸化亜鉛薄膜からなる低摩擦コーティング
効果
酸化亜鉛薄膜にホウ素(B)を添加し、測定点の90%以上で、発現する縦方向および横方向のピエゾ分極をそれぞれ一定の値以下となるようにしたので、B添加酸化亜鉛薄膜のナノメートルオーダーの摩擦力を非常に小さくできる。
技術概要
ホウ素添加酸化亜鉛薄膜からなる低摩擦コーティングであって、
前記ホウ素添加酸化亜鉛薄膜は、20nm〜50nmの粒径を有する結晶からなり、
前記ホウ素添加酸化亜鉛薄膜中のホウ素の質量比は、5%〜30%の範囲であり、
膜面に対して垂直な縦方向および水平な横方向のピエゾ分極を発現しており、測定点の90%以上で、前記縦方向のピエゾ分極の大きさが150pm以内でありかつ横方向のピエゾ分極の大きさが100pm以内である、低摩擦コーティング。