適用製品
ボロンやリンなどのドーパントを用いずに作製するダイヤモンド発光整流素子およびその製造方法
目的
ボロンやリンなどのドーピング層を有することなく、深紫外発光が可能なダイヤモンド発光整流素子およびその製造方法を提供する。
効果
不純物濃度の低い純粋なダイヤモンドを用いることができるため、結晶欠陥(窒素などの不純物を含む)由来の可視域の発光を抑えることが可能であり、深紫外発光の効率を上げることができる。
技術概要
ダイヤモンドの表面を水素で終端した領域、
当該水素終端した領域に隣接すると共に、前記ダイヤモンドの表面を酸素で終端した領域、
当該水素終端した領域に設けられた水素終端側電極、
当該酸素終端した領域に設けられた酸素終端側電極とを備え、
前記水素終端側電極と前記酸素終端側電極との間を流れる電流に対して、整流特性を示すことを特徴とするダイヤモンド発光素子。