目的
光軸近傍上の焦点面以外のラマン散乱光も測定ラマン光として検出し、３次元測定としてのラマン分光測定の精度を低下させるという課題を解決し、精度の高い３次元ラマン測定方法を提供する。
効果
精度の高い３次元ラマン測定方法を提供することが可能になる。
技術概要
共焦点光学系を用いて３次元のラマン分光分析を行う３次元ラマン分光法であって、
前記共焦点光学系を用いて、被測定試料に対して２以上の複数ｍの焦点面Ｆ↓ｉ（ｉは１からｍまでの整数）でラマン分光分析を行うラマン分光測定工程と、
前記ラマン分光測定工程によって取得された２以上の複数ｍの焦点面Ｆ↓ｉでの測定データＷ↓Ｍｉを用いて前記複数の焦点面での真のラマン分光値Ｗ↓ｉを算出する真値算出工程からなり、
前記真値算出工程は、式１のｍ個からなる連立方程式を解くことにより真値Ｗ↓ｉを求める工程であり、
前記Ｒ↓ｉｊは、焦点面を前記Ｆ↓ｉとしたときの高さ方向でｊの位置の規格化された重み係数であり、前記ｊの位置における前記被測定試料の表面からの距離Ｄ、前記焦点面Ｆｉからの距離をｚ、ラマン分光を行うために前記被測定試料に入射される入射光に対する前記被測定試料の吸光度をｋ、ラマン検出の効率をＥ（ｚ）として、式２で与えられる、３次元ラマン分光方法。
Ｒ↓ｉｊ＝Ｅ（ｚ）・ｅｘｐ（−２ｋＤ）・・・（式２）
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